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    AHYR2110F_4軸真空直驅雙臂R型晶圓搬運機器人

    AHYR2110F_4軸真空直驅雙臂R型晶圓搬運機器人
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    AHYR2110F_4軸真空直驅雙臂R型晶圓搬運機器人

    AHYR2110F_4軸真空直驅雙臂B型晶圓搬運機器人,自主研發(fā)安全可控,可全面替代進口品牌。

    產品描述


    4軸真空直驅雙臂R型晶圓搬運機器人
    AHYR2110F_AHY系列半導體機器人
     
    • ● 高可靠真空隔離,從容應對高真空環(huán)境
    • ● 電機直接驅動機器人運動,提升運行可靠性
    • ● 高強度高剛性鋼帶傳動,實現(xiàn)手臂高傳動精度
    • ● 采用閉環(huán)伺服控制,實現(xiàn)高精度位置控制

    臂長

    213.4mm

      額定/最大負載

     ≤1kg

    搬運物

    ≤Φ300mm晶圓

    新時達眾為興AHYR4210F_4軸真空直驅雙臂R型晶圓搬運機器人

    關鍵詞:

    新時達眾為興AHYR4210F_4軸真空直驅雙臂R型晶圓搬運機器人

    規(guī)格參數(shù)

    新時達眾為興AHYR2110F_4軸真空直驅雙臂R型晶圓搬運機器人